本实验室依托于复旦大学微电子学院的国家重点实验室-集成电路工艺实验室，具有完整的半导体流片工艺流程所需的设备。学院在邯郸校区具有一个公共净化间，为同学们提供良好的实验环境。另外，本实验室在张江具有独立的实验室，实验室成员可以在自己的独立实验室完成从半导体材料生长到器件制备的完整流程。本实验室具有生长材料的CVD设备、进口的先进光刻设备、刻蚀设备以及多种蒸发镀膜设备。

    张江实验室面积达100平方米，实验室具有完整的净化循环系统，为高质量器件的制备提供了良好的实验环境。实验室副楼为同学们配备了多个独立办公室，除了办公必备的打印机外，办公室还配备了微波炉、咖啡机等生活设备。