邯郸公共平台设备
薄膜溅射系统
LPCVD
快速退火系统
PECVD
探针台
原位薄膜淀积系统
部分张江实验室设备
手套箱
化学气相沉积(CVD)
激光直写
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磁控溅射
管式退火炉
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