薄膜溅射系统

LPCVD

快速退火系统

PECVD

探针台

原位薄膜淀积系统

手套箱

化学气相沉积(CVD）

激光直写

电子束蒸发

磁控溅射

管式退火炉

ICP

通风橱

高清显微镜