邯郸公共平台设备
薄膜溅射系统
LPCVD
快速退火系统
PECVD
探针台
原位薄膜淀积系统
部分张江实验室设备
手套箱
化学气相沉积(CVD）
激光直写
电子束蒸发
磁控溅射
管式退火炉
ICP
通风橱
高清显微镜
